電子特種氣體種類多樣行業集中度高,細分領域整合開啟進口替代新征程。2016 年全球半導體行業用電子特種氣體市場規模達到 36.8 億美元,同比增長 5.7%;國內方面集成電路用電子特種氣體需求約為 25 億元,預計到 2020 年將突破 68 億元。特種氣體屬于工業氣體的一種。工業氣體是現代工業重要的基礎原料,根據不同氣體的生產工藝和用途,可以將工業氣體分為特種氣體、合成氣體、空分氣體三大類。在半導體制造過程中涉及的材料眾多,在半導體集成電路的生產過程中,從芯片生長到后器件的封裝,幾乎每一步、每一個環節都離不開電子特種氣體,因此電子特種氣體被稱為半導體材料的“糧食”和“源”。






特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設備,一般應配置減壓裝置、真空發生器、、緊急切斷閥、過流開關、風壓事故報警、、壓力監測及報警等安全使用所必須的設施。排風管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。目前,國內共有特種氣體生產企業達150余家,多數企業生產規模較小。跨國企業已經在國內投資設立了眾多合資或獨資的氣體公司,占國內銷售氣體產品市場份額的70%左右。硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。

特種氣體是工業氣體中的一個新興門類,是隨著近年來工業、科學研究、自動 化技術、精密檢測,特別是微電子技術的發展而發展起來的。特種氣體種類:廣義的“電子氣體”指可用于電子工業生產中使用的氣體,是重要原材料之一, 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導體領域生產的特種氣體。特種標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體,是一種高度均勻,穩定性良好和量值準確的氣體,它可以是單一的純氣體或高純氣體,也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標準氣體屬于標準物質之一,故又稱為氣體標準物質。

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