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準分子氣體的保存。要分類堆放。根據使用的目的不同標準氣體也有很多類型，如果企業有多種類型的標準氣體時，要注意將其分類堆放，準分子氣體的運輸：容器不可和消防法規定的危險品(煤油等)混裝。容器溫度有超過40℃的危險時，要安裝罩布等遮陽光的東西。選擇氣體的注意事項：考慮讓輔助氣體與金屬材料產生化學反應，增加工作能力強度，更好進行加工；可以保護聚焦透鏡，防止一些燃燒產物沾污光學鏡片。
準分子激光推進了刻蝕、材料研究、汽車制造、光纖、鉆石打標設備及可替代能源等多種成長型工業中的技術革新。準分子激光氣體體是用于準分子激光設備中的激光發生器的關鍵氣體。準分子激光氣注意事項：準分子激光氣體為高壓充裝氣體，使用時應經減壓后方可使用。包裝的氣瓶上均有使用的年限，凡到期的氣瓶必須送往有部門進行安全檢驗，方能繼續使用。目前準分子激光已廣泛應用在臨床醫學以及科學研究與工業應用方面，如：鉆孔、標記表面處理、激光化學氣相沉積，物理氣相沉積，磁頭與光學鏡片和硅晶圓的清潔等方面,微機電系統相關的微制造技術．
準分子氣體的運輸緊急措施：有氣體泄漏時，要確定泄漏處并制止泄漏。處理有毒氣體時，一定要戴面罩、手套等防護用具。準分子氣體的保存。要分類堆放。根據使用的目的不同標準氣體也有很多類型，如果企業有多種類型的標準氣體時，要注意將其分類堆放，準分子氣體的運輸車上發生火災時。(1)應將車輛迅速轉移到安全地點。(2)盡力撲滅初期火災。要往容器大量澆水。
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